OVERVIEW
產品簡介
Micro LED巨量轉移設備
此設備?于Micro LED 巨量轉移和修復制程，可實現(xiàn)對任意尺?任意間距RGB芯?的選擇性轉移，在修復段?于芯?單點轉移及修復。
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轉移前后對比
ADVANTAGE
產品優(yōu)勢
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模塊式設計，上下料和轉移主體獨?拆分。
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機械??動上下料，設備綜合精度≤±1μm。
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搭載激光出光控制系統(tǒng)、?質量光束整形系統(tǒng)、光斑??可調，均?性≥95%。
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基本信息
- 設備尺寸：長2250mmx寬1850mmx高2450mm
- 最大行程：XI X2軸400mm；Y軸450mm
- 設備重量：3800Kg
- 加工類型 ：Micro LED芯?巨量轉移/單點修復轉移
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產品性能
- 運動平臺重復定位精度：±0.75μm
- 運動平臺定位精度：±1μm
- 運動平臺運動速度：≤500mm/s
- Z軸重復定位精度：±1μm
- Z軸定位精度：±1.5μm
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